零部件真空热处理的优势主要包括以下几点：

1. 防止氧化作用：真空环境能够防止金属表面氧化，减少脱碳现象，还原除锈，省去表面磨削加工工序，节约钢材和原材料消耗，节省加工时间。

2. 真空脱气作用：使材料表面纯度提高，从而提高材料的疲劳强度和耐蚀性。

3. 脱脂作用：除去残留油脂，提高产品质量。

4. 处理工件无氢脆危险：防止钛和难熔金属表面脆化。

5. 淬火变形小：由于真空加热缓慢，工件内外温差小，热应力小，同时真空炉设计使工件无剧烈转移动作，因而不会因外力作用产生变形。

6. 节省能源：不需优质可燃气体的气源，节省能源，由于真空加热室采用比热容小、隔热效果好的材料作隔热屏，因而蓄热损失较小，炉子热效率较高，可实现快速升温和降温。

7. 真空热处理工艺的稳定性和重复性好。

8. 耗电少，能量消耗为常规热处理的50%。生产成本低。

9. 操作安全，自动化程度高，工作环境好，无污染无公害。

总的来说，真空热处理可以有效提高零部件的性能和品质，延长使用寿命，为生产高品质产品提供保障。